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    PSD位置敏感探测器

      PSD(Position Sensitive Detector)位置敏感探测器,又称坐标光电池,是一种基于横向光电效应实现光斑位置检测的非分割型光学探测器‌。其核心结构包括P型衬底、PIN光电二极管及表面均匀电阻层,通过检测两端电极输出光电流的反比关系计算位置坐标‌。

    核核心特性

    1. 高分辨率与线性度‌:PSD位置分辨率最高达0.1μm,线性度误差优于0.5%,适用于亚微米级精密测量‌。

    2. ‌快速响应与宽光谱响应‌:典型响应时间为0.1μs~5μs,覆盖400nm~1100nm可见光至近红外波段‌。

    3. ‌连续位置检测‌:作为模拟器件,PSD可无级连续检测光斑位置,不受像元尺寸限制,无“死区”‌。

    工作原理

      当光照射PSD感光面时,光生电荷通过均匀电阻层被电极收集。两电极输出电流与光斑位置成反比,通过公式计算即可得到光斑坐标‌。例如,一维PSD-12515PSD-2534和二维PSD-1615等型号均采用此原理‌。

    应用领域

      PSD广泛应用于激光准直、原子力显微镜、光学跟踪、振动检测等精密测量场景‌。其抗干扰性强、处理电路简单,尤其适合需要高动态响应和宽形态适应的环境‌



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